熱式氣體質量流量計雖然有很多的優勢，但也有缺點，比如：只能測量干燥的氣體，如果氣體內含有較大水汽，示值將偏大，初步的判斷標準是管道內不會形成凝結水的氣體均可以測量；氣體組分變化頻繁且測量精度要求高的氣體不適合測量；氣體內粉塵含量較高且測量精度要求高的氣體不適合測量。

熱式氣體質量流量計具有以下特點：

(1)直接測量氣體質量流量，精度達到±1.0%F·S；

(2)重復性達到±0.2%F·S；

(3)量程比達到100∶1；

(4)熱式氣體質量流量計壓損極小，150mm內徑以上壓損可以忽略；

(5)一個過程連接，標定時已做好溫壓補償，無須額外的溫度、壓力變送器及對應的補償；

(6)插入式安裝，雙卡套鎖緊連接方式，內部無可動部件，基本免維護；

(7)管道震動對儀表性能影響非常小；

(8)可帶球閥安裝，省去旁路管道及相應的閥門；

(9)前后直管段要求低，管道式只需1D前直管段；

(10)自帶免費儀表通訊軟件，方便對儀表微調；

(11)自帶校準軟件，可以不拆表，不斷電完成自檢定，并給出流量計是否合格的檢定報告；

(12)熱式氣體質量流量計在技術確認時把管徑搞錯的情況下，熱式氣體質量流量計能夠方便地通過自帶軟件進行調整，避免重新計算、重新訂表、耽誤生產。